Principaux signaux analysés en microanalyse
-é secondaire
-é rétrodiffusé
-rayon-x
Collisions élastiques
*Électrons rétrodiffusés
-Direction de é incidents modifiés par le champ coulombique entourant le noyau
-Vélocité demeure environ constante
-Quantité d’énergie transférée par le faisceau d’électron est <1 eV
Collisions inélastiques
*Rayon-x et é secondaires
-Les é incident transfert une partie de leur énergie au é bien liés des orbitales inférieur et à ceux faiblement liés des orbitales externes
-Direction de é change peu
Cathodoluminescence
Lumière créé par les collisions
Électrons rétrodiffusés
-Électrons émis par rebondissements élastiques sur les noyaux atomiques.
-Énergie de l’ordre de grandeur de celle des électrons incidents (peu de perte d’énergie- effet cumulatif)
-Varie directement avec la composition chimique
-Permet de différencier les phases à partir de leur densité atomique (Plus le Z est grand plus il y a d’é rétrodiffusés et plus le signal est blanc sur l’échantillon)
Électrons secondaires
-Dûs aux collisions inélastiques des électrons incidents
-Très faible énergie <50e provenant de la surface
-Excellente résolution d’image – idéal pour analyse texturale
Procédures d’analyses
-Analyse ponctuelle :
*analyse des teneurs
*composition chimique
*mesure du bruit de fond avant/après ainsi que l’intensité de la raie
-Analyse linéaire ou profil :
*profil de concentration
*mise en évidence des zonations, diffusion, joint de grains…
-Analyse de surface ou balayage :
*image en R-x : distribution et localisation des éléments, structure, textures
*image en é rétrodiffusés : variation de densité, structure et texture
*image en é secondaire : topographie, structure et texture
Spectromètre définition
-Appareil pour mesurer l’intensité des rayonnements x émis par l’échantillon
Types de spectromètre:
-Spectromètre en énergie dispersive (EDS)
*quantitatif à semi-quantitatif
*permet l’acquisition de toutes les raies en même temps séparée selon leur énergie
-Spectromètre en longueur d’onde (WDS)
*quantitatif
*permet l’acquisition d’une seule raie à la fois séparée selon la longueur d’onde
(souvent on utilise les 2)
Principe de la microanalyse
-La microsonde électronique utilise pour fins d’analyse l’émission des rayons X et les phénomènes secondaires qui résultent du bombardement d’une cible par un faisceau d’électrons accélérés
Étalon ou standard définition, propriétés
Étapes de l’analyse quantitative
Décrivez brièvement le principe de la microsonde électrique
-La microsonde électronique utilise pour fins d’analyse l’émission des rayons X et les phénomènes secondaires qui résultent du bombardement d’une cible par un faisceau d’électrons accélérés.
(Un faisceau d’électrons de l’ordre de 1 micron ou moins de diamètre est mis au point en un endroit particulier à la surface d’une phase dont on veut déterminer la composition chimique)
-Un très petit volume de matière d’au plus quelques microns cubes émet alors des rayons X dont l’analyse spectrale permet de déterminer quels éléments chimiques sont présents dans la phase excitée aussi bien que leurs concentrations.
-Les électrons rétrodiffusés donnent une image de la densité atomique des phases
-Les électrons secondaires donnent une image de la topographie de surface de l’échantillon.
Rayon-X
-Produit par le matériel bombardé
-Permet de connaitre la composition chimique du volume analysé
Exemple de production de raies de rayon -X -K, L, M :
-Ka: éjection d’un é de l’orbitale k, remplacé par un é provenant d’une orbitale L
-Kb: é de la couche k remplacé par é de la couche m
-La: éjection d’un é couche L, remplacé par un é de la couche M
-Ma: éjection d’un é de la couche M remplacé par é couche N
But de l’analyse quantitative
-Mesurer l’intensité d’une raie caractéristique d’un élément (connaitre sa concentration)
Correction a apporter aux intensités mesurées
-De comptage
-De fond continu
-De fluorescence
-D’absorption
-De numéro atomique
Imagerie :
-Électrons secondaires :
*image ayant l’air en 3D
-Électrons rétrodiffusés :
*images des densités atomiques moyennes
-Rayon-x:
*cartographie chimique